这种方式极大地节省了时间，提高了光刻机的效率，所以其对于光刻机来说，可以说是必不可少的结构之一。
而这个双工作台的底座部分，就更加重要了，因为双工作台采用的是磁悬浮方式进行移动的，磁悬浮的方式足够稳定，也能够避免摩擦过多造成磨损等问题。
当然，这也就对磁悬浮的精度有了很大的要求，磁悬浮，利用来拒去留的效应，如何实现精准的控制，也就对里面的结构有很大要求。
所以林晓现在正在画的底座结构，也就十分的重要了。
不过，林晓并没有直接画出一整个底座结构，而是分成了几个部分来画，毕竟这个底座是很大的，其中涉及到了多种传感器，可不是他一张纸就能画出来的。
就这样，第二张工图画好了，这是底座结构的框架，里面主要画了走线的位置，以及伺服电机的位置，除此之外，还有其他各种零部件的具体位置，简单来说，这是一个内部结构图，不过内部结构的结构，就没有细化了。