玛丽学园在线观看剧情介绍:但这些相关研究,并没有被系统性的总结起来。大多数成果,甚至包括大火的微马达,实际都是以半导体加工工艺,半导体材料,甚至机械的身份出现。为了与其他半导体工艺,产品,有所区分,过去的几年间,整个业界进行了大讨论。最终,MEMS这个词,于1992年2月份,美国盐湖城举行的IEEE会议上,被提出,并最终达成共识。也就是说,MEMS,作为一个有意义的专属名词,刚刚在这个世界上,出现不过7个月的时间而已。所以,陈泉查资料的时候,用MEMS去索引,是很难查到太多信息的。如果是有经验的研究员,遇到这种情况...