玛丽学园在线观看剧情介绍:但这些相关研究，并没有被系统性的总结起来。大多数成果，甚至包括大火的微马达，实际都是以半导体加工工艺，半导体材料，甚至机械的身份出现。为了与其他半导体工艺，产品，有所区分，过去的几年间，整个业界进行了大讨论。最终，MEMS这个词，于1992年2月份，美国盐湖城举行的IEEE会议上，被提出，并最终达成共识。也就是说，MEMS，作为一个有意义的专属名词，刚刚在这个世界上，出现不过7个月的时间而已。所以，陈泉查资料的时候，用MEMS去索引，是很难查到太多信息的。如果是有经验的研究员，遇到这种情况...